原?レベルアンチエイリアス熱処理ミニマル裝置（ミニマルレーザ水素アニール裝置）
＜シリコン微細(xì)構(gòu)造の原子レベルでの平滑化と丸め制御により、様々な分野?用途におけるMEMSデバイスの高性能?高信頼性を?qū)g現(xiàn)！＞
東北大學(xué) 金森義明教授発明のAtomic-Antialiasing Annealing(AAA)技術(shù)を用いた水素雰囲気アニールによる立體構(gòu)造の平滑化と丸め制御新技術(shù)を、H30～R2年度サポイン事業(yè)により東北大?産総研?ミニマルファブ推進(jìn)機(jī)構(gòu)との共同開発で製品化しました。
特長
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